晶圓檢測系統(tǒng)

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產(chǎn)品名稱: 晶圓檢測系統(tǒng)

產(chǎn)品型號: 7940

產(chǎn)品展商: Chroma

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

可同時檢測正反兩面晶圓 *大可檢測6吋擴膜晶圓 (檢測區(qū)域達(dá)8吋范圍) 可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓自動對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格瑕疵檢出率高達(dá)98% 可結(jié)合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析

晶圓檢測系統(tǒng) 的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特色

可同時檢測正反兩面晶圓
*大可檢測6吋擴膜晶圓 (檢測區(qū)域達(dá)8吋范圍)
可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓自動對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
瑕疵檢出率高達(dá)98%
可結(jié)合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析

Chroma 7940晶圓檢測系統(tǒng)為自動化切割后晶粒檢測設(shè)備，使用先進的打光技術(shù)，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得7940可以適用于LED、雷射二極體及光敏二極體等產(chǎn)業(yè)。

由于使用高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算法，7940可以在3分鐘內(nèi)檢測完6吋LED晶圓，換算為單顆處理時間為15msec。7940同時也提供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7940可配置2種不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。系統(tǒng)搭配的*小解析度為0.5um，一般來說，可以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。

系統(tǒng)功能

在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產(chǎn)生不規(guī)則的排列，7940也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶圓。此外，7940擁有人性化的使用介面可降低學(xué)習(xí)曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布，瑕疵區(qū)域，檢測參數(shù)及結(jié)果，均可清楚地透過使用者介面(UI)呈現(xiàn)。

瑕疵資料分析

所有的檢測結(jié)果均會被記錄下來，而不僅只是良品/**品的結(jié)果。這有助于找出一組*佳參數(shù)，達(dá)到漏判與誤判的平衡點。提供瑕疵原始資料亦有助于分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢，并回饋給制程人員進行改善。

應(yīng)用范圍

使用在垂直結(jié)構(gòu)LED制程&垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL制程

發(fā)光二極體正面檢查項目